LabRAM HR
LabRam HR系統(tǒng)由于具有高光譜分辨率和獨(dú)特的寬波段測量能力而體現(xiàn)出很強(qiáng)的靈活性和優(yōu)越的性能。
它是一款易于操作和穩(wěn)定性高的集成系統(tǒng),在高、中甚至低光譜分辨率下的拉曼測量都有很好的重復(fù)性。高光譜分辨模式對峰位的準(zhǔn)確分析尤為重要,例如:相(晶型 /無定型),蛋白質(zhì),氫鍵和弱的 鍵合作用的表征,以及半導(dǎo)體應(yīng)力測量等,實際上,對于任何需準(zhǔn)確表征 拉曼譜峰的峰位和 峰形的應(yīng)用都十分重要。需用 0.3cm -1到 1cm -1精度進(jìn)行 譜峰分析的樣品尤其適合使用高分辨率模式。它的雙重功能還能實現(xiàn)在同一臺儀器上從事更多常規(guī)拉曼分析,甚至更寬波段的光致微區(qū)熒光或發(fā)光分析。
特征
LabRAM HR高分辨系統(tǒng)提供的靈活性和性能:
獨(dú)特的高,中和低光譜分辨率多道光譜探測模式。
適于拉曼,熒光,發(fā)光測量
真共焦 -空間分辨率和更準(zhǔn)確的拉曼圖像
可配多個激發(fā)波長,從可見到近紅外(可擴(kuò)展至近紅外和紫外)。
高的穩(wěn)定性
1024 像元的大尺寸 CCD 芯片-還有多種芯片可供選擇。
notch 濾光片角度 可調(diào)技術(shù)。
自動軟件操作,包括外部制冷臺。
可擴(kuò)展配置(二個輸出口,附加探測選項, 近紅外 和 紫外).
高的穩(wěn)定性
1024 像元的大尺寸 CCD 芯片-還有多種芯片可供選擇。
notch 濾光片角度 可調(diào)技術(shù)。
自動軟件操作,包括外部制冷臺。
可擴(kuò)展配置(二個輸出口,附加探測選項,開放式顯微鏡).
快速拉曼成像 模式.
規(guī)格:
規(guī)格
高分辨
LabRAM HR具有800毫米的光譜儀焦長,其所能達(dá)到的分辨率約為標(biāo)準(zhǔn)300毫米焦長拉曼譜儀的3倍,比250毫米焦長的老式設(shè)計拉曼譜儀更高。從下圖可以清楚地看到,用高分辨率系統(tǒng)采集的譜圖有更多的數(shù)據(jù)點(diǎn),在進(jìn)行微小的拉曼峰移分析時,比短焦長系統(tǒng)準(zhǔn)確的多。同樣,用HR系統(tǒng)能更準(zhǔn)確地給出拉曼譜峰的峰形這一重要的參數(shù),峰位和峰形都能表征重要的樣品變化。
獨(dú)特的靈活性
LabRAM HR 另一個獨(dú)特的優(yōu)勢就是可在系統(tǒng)中配備一個附加出口。用雙出口選項,可多配備一個紅外 InGaAs陣列,ICCD, PMT或其它專業(yè)單道探測器。實際上,該系統(tǒng)有很寬的激光光源適應(yīng)能力和多探測器選項,能提供很寬的光譜范圍或進(jìn)行時域分析。
例如,近紅外探測器對于 在 830納米或 1064納米激發(fā)下的發(fā)光測量(例如對于半導(dǎo)體材料)和拉曼分析等特別有用。這兩種應(yīng)用下的光譜都在標(biāo)準(zhǔn)硅器件 CCD探測器的測量范圍之外,例如,一些重要的 III- V族半導(dǎo)體材料的重要信息在 1100納米和 1300納米區(qū)域,不在硅器件的敏感探測區(qū)。用其它的探測器(如 InGaAs或 Ge探測器), 就很容易實現(xiàn)這個區(qū)域的測量. (詳見在同一系統(tǒng)中實現(xiàn)拉曼和光致熒光測量)
應(yīng)力引起的拉曼位移
LabRAM HR 是一種理想的應(yīng)用測量工具。左圖中 固體相硅應(yīng)力拉曼分析表明可識別出 0.3cm-1 的拉曼峰移。
半導(dǎo)體器件中的新型 SOI 和 SiGe 薄膜具有類似的小峰位和峰形改變,非常適合用 LabRAM HR 進(jìn)行測量。
100納米MOSFETs應(yīng)力硅
拉曼光譜儀:關(guān)于芯片和應(yīng)力