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電子工業(yè)超純水設備工藝及使用注意事項

2022-01-28

高純水又名超純水,是指化學(xué)純度高的水,其主要應用在生物、化學(xué)化工、冶金、宇航、電力等領(lǐng)域,但其對水質(zhì)純度要求相當高,所以一般應用普遍的還是電子行業(yè)。
工藝概述


高純水又名超純水,是指化學(xué)純度高的水,其主要應用在生物、化學(xué)化工、冶金、宇航、電力等領(lǐng)域,但其對水質(zhì)純度要求相當高,所以一般應用普遍的還是電子行業(yè)。


在超純水設備的生產(chǎn)過(guò)程中,水中的陰陽(yáng)離子可用電滲析法、反滲透法及離子交換技術(shù)等去除,水中的顆粒一般可用超過(guò)濾、膜過(guò)濾等技術(shù)去除;水中的細菌,目前國內多采用加藥或紫外燈照射或臭氧的方法去除;水中的TOC則一般用活性炭、反滲透處理。在高純水的應用領(lǐng)域中,水的純度直接關(guān)系到器件的性能、可靠性,因此高純水要求具有相當高的純度和精度。


●超純水設備的使用


離子交換混床是通過(guò)離子交換樹(shù)脂在電解質(zhì)溶液中進(jìn)行的,可去除水中的各種陰、陽(yáng)離子,是目前制備超純水工藝流程中不可替代的手段。離子交換器分為陽(yáng)離子交換器、陰離子交換器等。當原水通過(guò)離子交換柱時(shí),水中的陽(yáng)離子和水中的陰離子(HCO3-等離子)與交換柱中的陽(yáng)樹(shù)脂的H+離子和陰樹(shù)脂的OH-離子進(jìn)行交換,從而達到脫鹽的目的。陽(yáng)、陰混柱的不同組合可使水質(zhì)達到更高的要求,生產(chǎn)出達到更高標準的超純水。


離子交換法是目前國內外制水行業(yè)普遍采用的較為理想的方法,也是經(jīng)濟有效的化學(xué)法之一,離子交換是一種利用陰陽(yáng)交換樹(shù)脂對離子的選擇性及平衡反應原理,去除水中電解質(zhì)離子的技術(shù)。是一套完整成熟的制水工藝,現廣泛為廣大用戶(hù)認可。


再生活化原理:當設備運行一段時(shí)間,樹(shù)脂失效,此時(shí)需再生,使其恢復交換能力。


注意事項:1.操作人員應具備純水設備基礎知識,掌握操作規程。2.本設備嚴禁超壓負荷工作。3.電機應定期檢查。4.長(cháng)期閑置不用,應定期攪動(dòng),以免樹(shù)脂發(fā)霉。


●制備工藝


1、采用離子交換樹(shù)脂制備超純水的傳統水處理方式,其基本工藝流程為:原水→沙炭過(guò)濾器→過(guò)濾器→原水箱→陽(yáng)床→陰床→混床(復床)→純水箱→純水泵→后置過(guò)濾器→用水點(diǎn)


2、采用反滲透水處理設備與離子交換設備進(jìn)行組合的方式,其基本工藝流程為:原水→沙炭過(guò)濾器→過(guò)濾器→原水箱→反滲透設備→混床(復床)→純水箱→純水泵→后置過(guò)濾器→用水點(diǎn)


3、采用反滲透水處理設備與電去離子(EDI)設備進(jìn)行搭配的方式,這是一種制取超純水的新工藝,也是一種環(huán)保,經(jīng)濟,發(fā)展潛力巨大的超純水制備工藝,其基本工藝流程為:原水→沙炭過(guò)濾器→過(guò)濾器→原水箱→反滲透設備→電去離子(EDI)→純水箱→純水泵→后置過(guò)濾器→用水點(diǎn)


●技術(shù)特點(diǎn)


1、一種采用離子交換樹(shù)脂其優(yōu)點(diǎn)在于初投資少,占用的地方少,但缺點(diǎn)就是需要經(jīng)常進(jìn)行離子再生,耗費大量酸堿,而且對環(huán)境有一定的破壞。


2、二種采用反滲透作為預處理再配上離子交換設備,其特點(diǎn)為初投次比采用離子交換樹(shù)脂方式要高,但離子設備再生周期相對要長(cháng),耗費的酸堿比單純采用離子樹(shù)脂的方式要少很多。但對環(huán)境還是有一定的破壞性。


3、三種采用反滲透作預處理再配上電去離子(EDI)裝置,這是目前制取超純水經(jīng)濟,環(huán)保用來(lái)制取超純水的工藝,不需要用酸堿進(jìn)行再生便可連續制取超純水,對環(huán)境沒(méi)什么破壞性。其缺點(diǎn)在于初投資相對以上兩種方式過(guò)于昂貴。


●應用場(chǎng)合


1.半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路;

2.超純材料和超純化學(xué)試劑;

3.實(shí)驗室和中試車(chē)間

4.汽車(chē)、家電表面拋光處理;

5.其他高科技精微產(chǎn)品。